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微机电系统工程以机、电技术，尤其是微机械为基础，运用微电子技术和微加工技术，进行微纳米和微机电系统内的一系列微型器件的设计、制造及测试等。例如：微泵、微传感器、微加速度计、小飞机、小卫星和微米卫星等。
微机电系统工程专业简介
微机电系统工程是中国普通高等学校本科专业。
本专业是国家新兴战略产业相关专业，面向集成电路制造、航空、航天、生物医疗、精密仪器、汽车电子、消费电子等领域，培养掌握先进的微电子制造技术、精密机械制造技术、仪器仪表及测控技术、微机电系统设计制造技术，并具备一定的人文社科和现代管理知识的复合型高级人才。
该专业的研究领域主要有微传感器、微加速度计、微陀螺和微惯导系统、微光学器件、微测量技术等。
课程体系：《微机电工程材料》、《微机电器件与系统》、《微机械学》、《微纳米测量与测试技术》、《微细加工技术》、《现代传感技术》、《精密工程制造基础和光存储技术》。
毕业生可在集成电路制造、航空、航天、机械工程、精密仪器、微电子、医疗器械等行业和领域的研究院所、大中型企业、合资企业及高等院校从事科研、设计、生产等方面的工作。
微机电系统工程专业就业方向
毕业生可在集成电路制造、航空、航天、机械工程、精密仪器、微电子、医疗器械等行业和领域的研究院所、大中型企业、合资企业及高等院校从事科研、设计、生产等方面的工作。
可在三星电子、台积电、中芯国际、中航集团、航天科技集团、航天科工集团以及中电集团等国际知名企业就业。毕业生可报考微机电系统及纳米技术、仪器科学与技术、机械电子工程等方向的硕士、博士研究生。